PRODUCTS

TK - FUJIKIN

世界的なガス配管資材の部品素材専門企業

UHP PRODUCTS

高清浄ファミリは、半導体産業の高清浄ガス配管ラインと電源装置に使用できるように設計されており、半導体産業だけでなく、フラットパネルDisplay、Electronics、Medicals、PharmaceuticalsとBiotechnology、Lab、R&D分野に広く適用されています。製品の組み立てとテストの全工程がClean Room(Class1000、100、10 Zone)で行われ、電解研磨(Electro Polished)技術を適用し、内面を超平滑な表面状態で製作して表面粗さをSEMI SPECで規定しているRa≤5μnより優れた表面状態を維持しています。また、ヘリウムリーク全数検査を通じて製品の安全性を確保し、顧客の信頼をより一層深めるしている製品群です。